FOUPロードポート

FOUPごとの微差（公差）に対応する独自機構が、FOUPとロードポートの衝突を防ぎ、確実なラッチキー挿入で、高い互換性を実現。
◆各社FOUPとの確実な着脱・開閉を可能にするエアクッション方式
◆世界シェアNo.1の導入実績

半導体製造ラインの特性に合わせたカスタマイズ、メンテナンスが容易に短時間で行える高メンテナンス設計。
◆半導体製造装置への取り付け、部品交換などの通常メンテナンス時間が従来品の半分以下に短縮

優れた信頼・耐久性を実現。
◆駆動軸数を減らし、信頼性試験を徹底的に繰り返した高信頼設計
◆MCBF　50万回を達成
※MCBF: Mean Cycle Between Failureの略。ある機器が使用を開始、あるいは故障から回復した後、次に故障するまでの稼動回数。